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重大突破!我国首台半导体激光隐形晶圆切开机研制成功
发布时间:2024-04-19 05:37:54 来源:亿百体育 作者:亿百体育官方 [返回]

   

  我国科研范畴传来喜讯!中国长城科技集团官方宣告,旗下郑州轨道交通信息技能研究院、河南通用智能配备有限公司,历时一年联合攻关,我国第一台半导体激光隐形晶圆切开机已于5月8日研制成功,填补国内空白,并完成了最佳光波和切开工艺,在要害性能参数上处于世界领先水平。

  这标志着我国半导体激光隐形晶圆切开技能获得实质性重大突破,相关配备依靠进口的局势行将打破,敞开了我国激光晶圆切开职业开展的前奏。

  据介绍,晶圆切开是半导体封测工艺中不可或缺的要害工序,与传统的切开方法比较,激光切开归于非触摸式加工,能够防止对晶体硅外表形成损害,而且具有加工精度高、加工功率高级特色,能够大幅提高芯片出产制作的质量、功率、效益。

  我国的第一台半导体激光隐形晶圆切开机经过选用特别资料、特别结构设计、特别运动渠道,能够完成加工渠道在高速运动时坚持高稳定性、高精度,运动速度可达500mm/s,功率远高于国外设备。

  在光学方面,依据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的使用水平,选用了适宜的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,终究完成了隐形切开。

  在印象方面,选用不同像素尺度、不同感光芯片的相机,配以不同成效的镜头,完成了产品概括辨认及低倍、中倍和高倍的水平调整。一起还搭载了同轴印象体系,能够保证切开中效果的实时承认和优化,完成最佳切开效果。

  此外该配备还搭载了同轴印象体系,能够保证切开中效果的实时承认和优化,完成最佳切开效果。

  高端智能配备是国之重器,是制作业的柱石,尤其是半导体范畴内高端智能配备,在国民经济开展中更是具有无足轻重的效果。

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